扬州群发光芯科技有限公司

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基于波长调制的3D OPA硅光技术


通过OPA技术和生产工艺,助力企业、科研院所、高校实现硅基光电集成芯片化升级

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全固态光学相控阵(OPA)2D/3D光电(集成)芯片


专注创新研发,不断突破技术边界

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基于OPA硅光芯片的三维成像扫描系统演示


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OPA硅光芯片

OPA‌(Optical Phased Array)硅光芯片是一种通过硅基材料实现光束方向调控的技术产品

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工艺平台

群发硅光生产线以纯硅光工艺实现OPA芯片全流程制造

光刻工艺

仿真设计

可提供6英寸标准晶圆光刻图形化工艺,最小可实现200nm线宽结构的光刻,可针对不同材料类型(石英、硅、玻璃、金属薄膜衬底等)

刻蚀工艺

镀膜

可加工6英寸及以下各种晶圆及非标基底,可刻蚀材料:硅、氧化硅、氮化硅、磷化铟、氮化镓、铌酸锂、石英、硫化锌及各种硅基和金属氧化物等

镀膜工艺

光刻

CVD工艺包括氧化硅、氮化硅;PVD工艺包括金属及金属氧化物薄膜:金、银、铝、铬、钛、锡、氧化铝等

研磨抛光

仿真设计

可对Ⅲ-Ⅴ族化合物(氮化镓、砷化镓等)、硅、碳化硅等外延衬底及器件进行高精度 研磨与抛光,实现纳米级表面平整度与低粗糙度控制。

掺杂工艺

镀膜

可支持 6 英寸及以下晶圆的离子注入、扩散等掺杂工艺,适配硅、氮化镓、砷化镓 等半导体材料

耦合测试

光刻

可对波导、激光器、光电探测器等光电器件开展耦合性能测试,覆盖 6 英寸及以下晶圆 与封装后器件,测试参数包含耦合效率、插入损耗、响应度等,支持多通道并行测试。

可靠性验证

光刻

可开展器件与薄膜的可靠性试验,包括高温高湿、热循环、电老化等测试,适用于氮化 硅、氧化硅、金 / 铝 / 钛等金属薄膜及相关器件

应用领域

可根据客户需求提供完整的制程服务

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安防安保系统

多传感器融合放大感知性能,多目标跟踪提升安全防卫性能。

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空天地海一体化

应用于高速光通信系统,提高数据传输效率和稳定性。

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自动驾驶汽车

提供高性能的全固态激光雷达系统,支持自动驾驶汽车的环境感知和导航。

01.mp4

低空经济

实现高精度的3D成像和环境感知,集成化方案进一步降低利用空间。

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工业机器人

用于高精度3D成像和测绘,支持建筑、工程和地理信息系统等领域。

新闻资讯

了解我们的动态和行业资讯

扬州市政协副主席、致公党市委会主委徐晟考察调研党员企业

群发公司OPA硅光芯片项目作为扬州市、区两级政府重点支持关注项目,始终坚持技术研发和市场拓展。在新发展阶段将积极对接客户需求,提供优质产品和各项技术支持,同时向光通信相关企业提供优质服务,为产业科创名城建设贡献积极力量。

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扬州科教集团领导莅临群发光芯考察指导

9月4日下午,扬州科教集团总经理闫冬梅、党委副书记段如旭等领导,专程莅临扬州群发光芯科技有限公司(以下简称 “群发光芯”)考察指导工作。聚焦OPA硅光芯片的研发生产进展,围绕产能建设、技术突破和资源协同等核心议题同群发光芯团队进行了深入交流。闫冬梅总经理结合扬州科教集团 “服务科创企业、赋能产业升级” 的核心定位,重点提出 “信息互通常态化” 的合作方向。她指出:“群发光芯作为扬州硅光产业的重点培育企业,其技术突破与产能落地不仅是企业自身的发展关键,更是全市集成电路产业‘换道超车’的重要支撑。科教集团将切实围绕企业发展中的实际需求,精准匹配资源,及时响应解决发展中的难点堵点。”闫冬梅总经理直奔群发光芯产线现场,实地查看核心设备运行状态,详细询问当前设备运行、流片良率、产能规划三大关键指标。群发光芯相关负责人汇报时介绍:“目前生产线各项设备均已进入试生产阶段,其中低损耗氮化硅薄膜沉积设备、高精度光刻设备已稳定运行并验证多批次产品,各项生产工作有序推进。

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中国航天科技集团原科技委副主任谭永华莅临群发光芯调研指导

9月6日,中国航天科技集团原科技委副主任、航天六院原科技委主任谭永华,莅临群发光芯调研硅光芯片成果与产业化进展,群发光芯董事长陪同。

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